使用TiO2光解技術凈化廢氣，是通過UV燈管發射高能的UV光子，將廢氣物質的化學鍵打斷、裂解，生成呈離子狀態的原子、自由基，再通過TiO2催化裂解產生的臭氧、羥基自由基將其氧化成簡單的、穩定的小分子無毒或低毒化合物，如CO2、H2O等。

*先需要確定各種廢氣分子的化學鍵鍵能，只有鍵能低于UV 光子能量，才能被裂解。

TiO2光解催化氧化設備UV光子高能量可達（747kJ/mol）,本次待處理的鍵能均小于747kJ/mol，故很容易通過捕獲UV光子獲得能量使其化學鍵斷裂，而便于進一步被氧化形成穩定的簡單的化合物。

廢氣分子只被裂解成原子、自由基是不夠的，還需要通過羥基自由基將其氧化成穩定的小分子，如CO2、H2O等，從而達到廢氣凈化的目的。臭氧需要通過氧氣獲取高能UV光子的能量后裂解形成活性氧原子并與氧氣而結合形成；凈化技術可靠且*穩定，凈化設備無須日常維護，只需接通電源即可正常使用，且運行成本低，無二次污染。